الإيثان عالي النقاء

أصبح الإيثان عالي النقاء أمرًا لا غنى عنه في تصنيع أشباه الموصلات، حيث يمكن لأجزاء من الشوائب -لكل- مليار شوائب أن تعطل عمليات التصنيع. يتم تعريف الإيثان عالي النقاء بأنه إيثان بدرجة نقاء أكبر من أو يساوي 99.995٪، ويخضع لعملية معالجة واسعة النطاق بما في ذلك التقطير المبرد وتنقية جيتر لإزالة الأكسجين والرطوبة والهيدروكربونات الأثقل. وينمو السوق العالمي للإيثان عالي النقاء بنسبة 9% سنوياً، مدفوعاً بالطلب على الرقائق وشاشات العرض المتقدمة.

في تصنيع أشباه الموصلات، يؤدي الإيثان عالي النقاء العديد من الوظائف المهمة:

النقش بالبلازما لطبقات نيتريد السيليكون

ترسيب البخار الكيميائي لأغشية الكربون-المشبعة

عمليات تنظيف الغرفة في أنظمة الطباعة الحجرية EUV

تحقق تقنيات التنقية الحديثة للإيثان عالي النقاء الآن مستويات تلوث ملحوظة:

<0.1 ppm total hydrocarbons

<0.5 ppm moisture

<0.01 ppb metallic impurities

يتطلب تخزين ومعالجة الإيثان عالي النقاء أسطوانات متخصصة مع معالجات سطحية داخلية لمنع امتصاص الملوثات. تستخدم أنظمة توزيع الغاز أنابيب من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقولة كهربائيًا مع تركيبات عالية التفريغ-للحفاظ على نقاء الغاز من المصدر إلى الأداة. اعتمدت صناعة الخلايا الكهروضوئية إيثانًا عالي النقاء لترسيب طبقات مضادة للانعكاس على الخلايا الشمسية، حيث يمكن للشوائب أن تقلل من كفاءة التحويل بنسبة تصل إلى 2%.

تشتمل الابتكارات الحديثة على مراقبة قياس الطيف الكتلي في الوقت الفعلي لتدفقات الإيثان عالية النقاء، مما يتيح الكشف الفوري عن رحلات النقاء. ومع تقلص هندسة الرقائق إلى أقل من عقدة 2 نانومتر، أصبحت مواصفات الإيثان عالي النقاء أكثر صرامة، مما يؤدي إلى التحسين المستمر في تقنيات الإنتاج والتحليل.

الوسم : الإيثان عالي النقاء، مصنعي الإيثان عالي النقاء في الصين، الموردين، المصنع, مكرر ثالثي بوتيل أمينو سيلاني, الإيثان من الميثان, جلسرين بروبيلين, الميثان بالإضافة إلى البخار, مادة كيميائية البروبيلين, سوبر سيلاني