غاز CF4

Tetrafluoromethane ، والمعروف أيضًا باسم Tetrafluoride أو R -14 ، هو أبسط الكربون الكربوني (CF4). كما يشير اسم IUPAC ، فإن tetrafluoromethane هو النظير المملوك للميثان الهيدروكربون. يمكن أيضًا تصنيفها على أنها هالولكان أو الهالوميثان. Tetrafluoromethane هو مبرد مفيد ولكنه أيضًا غاز دفيئة قوي. لديها قوة رابطة عالية للغاية بسبب طبيعة رابطة الكربون والفلورين.

الكربون tetrafluoride

سجل المستخلصات (CAS): 75-73-0

الأمم المتحدة: 1982

einecs: 200-896-5

الصيغة الجزيئية: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >98 ٪ كفاءة التدمير باستخدام الاحتراق عند 1100 درجة تليها التنظيف. زاد الانتقال إلى الطباعة الحجرية للأشعة فوق البنفسجية (EUV) من استهلاك غاز CF4 بنسبة 20 ٪ لتطبيقات تنظيف القنابل الضوئية.

يتم استخدام Tetrafluoromethane في بعض الأحيان كمبرد درجة حرارة منخفضة (r -14). يتم استخدامه في التصنيع الدقيق الإلكتروني بمفرده أو بالاشتراك مع الأكسجين باعتباره حفر البلازما للسيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون. كما أنه يحتوي على استخدامات في كاشفات النيوترونات

• استخدم دائمًا وفقًا لورقة بيانات السلامة (SDS).
• يجب تخزين الأسطوانة واستخدامها في وضع مستقيم ومؤمن في منطقة جيدة التهوية أو مراقبة.
• اتبع دائمًا متطلبات كود الحريق المحلي عند تخزين أسطوانات الغاز.
• المخاطر الرئيسية: النار ، الاختناق.

Jiangsu MR Chemical Co. ، Ltd ، تقف في طليعة الابتكار في عالم المنتجات الغازية ، متخصصة في الطيف الكامل من الغازات القياسية ، الغازات الخاصة ، الغازات العالية ، والغازات الإلكترونية ، والتجول ، والتجول الكهربائية ، والكواز الكهربائي ، والكواز الكهربائي ، والكنيكات ، والكواز الكهربائي ، الألغام ، السيارات ، الطبية ، الحماية من الحرائق ، الفضاء ، الغذاء ، البناء ، الصهر ، الصناعات الكيميائية الدقيقة ، المعالجة والصناعات التحويلية.

الوسم : CF4 GAS ، مصنعي الغاز CF4 الصين والموردين والمصنع, 99 999 5n الكربون tetrafluoride cf4الهيليوم النقيارتفاع درجة حرارة الكربون من الكربونغاز المبرد R14 الكربون tetrafluoride