عالية النقاء ثلاثي فلوروميثان 99.9 ٪

fluoroform ، أو trifluoromethane ، هو المركب الكيميائي مع الصيغة chf 3. إنها الكربون الكربون الهيدروفلوي وكذلك كونه جزء من haloforms ، فئة من المركب مع formula chx3 (x =} مع c3v symmetry {}} Synthesis . إنه ليس استنفاد الأوزون ولكنه غاز دفيئة .

trifluoromethane

CAS: 75-28-5

الأمم المتحدة: 1984

einecs: 200-872-4

الصيغة الجزيئية: CHF3

أصبح Trifluoromethane High Purity 99 . 9 ٪ لا غنى عنه في تصنيع أشباه الموصلات ، وخاصة لتصنيع العقدة المتقدمة أقل من 7nm. تتطلب هذه المواصفات تحكمًا دقيقًا في الشوائب:<100 ppm moisture, <50 ppm oxygen, and <10 ppm total hydrocarbons. In plasma etch processes, high purity trifluoromethane 99.9% enables anisotropic silicon nitride removal with selectivity ratios exceeding 100:1 relative to oxide layers. The transition to 3D NAND architectures has increased demand for high purity trifluoromethane 99.9% by 25% annually, as these memory structures require extensive etching of high-aspect-ratio features. Gas delivery systems for high purity trifluoromethane 99.9% utilize electropolished stainless steel with ultra-high vacuum fittings, maintaining purity from cylinder to process chamber. Recent quality innovations include real-time FTIR monitoring during filling operations and cylinder passivation techniques that reduce metallic contaminants below 1 ppb. As EUV lithography becomes mainstream, high purity trifluoromethane 99.9% plays an expanding role in chamber cleaning processes that maintain mirror reflectivity.

عادةً ما يتم استخدام trifluoromethane كمبرد في أنظمة التبريد وتكييف الهواء بسبب سعة التبريد العالية والسمية المنخفضة . يتم استخدامه في مجموعة متنوعة من التطبيقات ، بما في ذلك أنظمة التبريد التجارية ، وتوديات التكييف ، والتعبير عن ذلك ، والتعبير عن ذلك بيئة التنازل عن البيئة ، والاستبدال في هذا البيئة. البدائل .

• استخدم دائمًا وفقًا لورقة بيانات الأمان (SDS) .
• يجب تخزين الأسطوانة واستخدامها في وضع مستقيم ومؤمن في منطقة مُعسوبة أو مراقبة جيدًا .
• اتبع دائمًا متطلبات رمز الحريق المحلي عند تخزين أسطوانات الغاز .
• المخاطر الرئيسية: النار ، الاختناق .

Jiangsu MR Chemical Co . ، Ltd ، يقف في طليعة الابتكار في عالم المنتجات الغازية ، متخصصة في الطيف الكامل من الغازات القياسية ، والغازات الخاصة ، والغازات العالية ، والغازات الإلكترونية ، والتجمعية ، والتجمعية ، والتجمعية ، والتجمعية ، والتجمعي ، الإلكترونيات ، الشحن ، منجم الفحم ، السيارات ، الطبية ، الحماية من الحرائق ، الفضاء ، الغذاء ، البناء ، الصهر ، الصناعات الكيميائية الدقيقة ، المعالجة والتصنيع .

الوسم : ارتفاع الطهارة الثلاثية الطفاه 99.9 ٪ ، الصين عالية الطهارة trifluoromethane 99.9 ٪ المصنعين والموردين والمصنع, عالي النقاء ثلاثي فلوروميثان 99 9تبريد الصف ثلاثي فلوروميثانtrifluoromethanetrifluoromethane 99 999الأمونيا بالإضافة إلى الماء