أصبحت متطلبات التحكم في تلوث الغاز الإلكترونية صارمة بشكل متزايد

من خلال ترقية المنتجات الاستهلاكية الإلكترونية ، يصبح حجم المنتجات أكبر وأكبر ، وأصبحت عائد المنتج والتحكم في العيوب أكثر وأكثر صرامة . الصناعة الإلكترونية بأكملها لديها متطلبات أكثر صرامة من أجل نقاء مصادر الغازات الإلكترونية والمؤسسة الجسيمية التي تثيرها الحجم الكهربائي في الجزارة الكهربائية. يرتبط التلوث مباشرة بالحد الأدنى لاكتشاف الكشف (LDL) الناتج عن تقدم تقنية الأدوات التحليلية . على سبيل المثال ، يمكن لمختبري جسيمات الليزر التقليدية قياس 0 . 1 microns ، في حين أن تقنية التكثيف النووي (CNC) يمكن أن تصل إلى 0 {10} 12- بوصة ، تطورت تصنيع الدوائر المتكاملة للدوائر المتكاملة إلى 45 نانومترًا . وصلت (LEDs) إلى أكثر من 200 لليومتر/وات (Lumens/Watt) ، ومتطلبات التحكم في النقاء للهيدروجين والأمونيا هي أيضًا أقل من 1PB (أجزاء لكل مليار). يتم إنتاج الأمونيا عن طريق التقطير متعدد المراحل ، وتصل المؤشرات التقنية إلى 7N (7 9 s) "Ammonia White" . 5 n يجب تنقيته إلى 9N باستخدام تنقية غشاء البلاديوم المتقدمة.
إن التطبيق في الوقت المناسب لأنظمة الغاز الخاصة بالجملة (BSGS) يفضي إلى تحسين التحكم في التلوث . أولاً وقبل كل شيء ، تضمن حاويات التعبئة والتغليف الكبيرة استمرارية جودة الغاز وتقليل خطر التلوث من تعبئة متعددة . بالإضافة إلى ذلك ، فإن الحد من تردد الزجاجة يتوقف أيضًا عن فرصة الاستخدام { تطهير تأثير .